新宙邦请求一种蚀刻液组合物专利进步蚀刻液本身的安稳性和惯例运用的寿数

来源:leyu.com    发布时间:2025-07-06 12:04:27

  金融界 2025 年 1 月 17 日音讯,国家知识产权局信息数据显现,深圳新宙邦科技股份有限公司请求一项名为“一种蚀刻液组合物”的专利,公开号 CN 119307922 A,请求日期为 2023 年 7 月。

  专利摘要显现,本发明触及湿法蚀刻技术领域,详细触及一种可用于蚀刻铜钼及其合金膜的蚀刻液组合物。本发明供给的蚀刻液组合 物,包含过氧化氢、榜首金属离子螯合剂、第二金属离子螯合剂、第三金属离子螯合剂、无机碱、蚀刻抑制剂、氟化物和水;所述榜首金属离子螯合剂、第二金属离子螯合剂、第三金属离子螯合剂、氟化物之间满意如 下关系式:本发明的蚀刻液组合物,经过三种金属离子螯合剂之间彼此和谐,可实现在高双氧水系统下很好的操控 H2O2 的分化速率,进步蚀刻液本身的安稳性和惯例运用的寿数;在将其应用于金属薄膜的蚀刻时,线宽丢失小、无断线、无残留、兼容性好,很好的改进蚀刻液对金属层的蚀刻功能,金属层蚀刻的均一性和安稳才能更佳。

  天眼查资料显现,深圳新宙邦科技股份有限公司,成立于2002年,坐落深圳市,是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册本钱75388.1764万人民币,实缴本钱55000.126万人民币。经过天眼查大数据分析,深圳新宙邦科技股份有限公司共对外出资了26家企业,参加招投标项目28次,知识产权方面有商标信息198条,专利信息463条,此外企业还具有行政许可66个。